Қытай SiC эпитаксия процесі Өндіруші, жеткізуші, зауыт

VeTek Semiconductor компаниясының бірегей карбидті жабындары талап етілетін жартылай өткізгіш және композиттік жартылай өткізгіш материалдарды өңдеу үшін SiC эпитаксистік процесінде графит бөлшектерін жоғары қорғауды қамтамасыз етеді. Нәтиже графит құрамдас бөлігінің қызмет ету мерзімін ұзартады, реакцияның стехиометриясын сақтайды, эпитаксияға және кристалды өсіретін қолданбаларға қоспалардың көшуін тежейді, нәтижесінде кірістілік пен сапаның жоғарылауы қамтамасыз етіледі.

Біздің тантал карбиді (TaC) жабындары пеш пен реактордың маңызды компоненттерін жоғары температурада (2200 ° C дейін) ыстық аммиактан, сутегінен, кремний буларынан және балқытылған металдардан қорғайды. VeTek Semiconductor графитті өңдеу және өлшеу мүмкіндіктерінің кең ауқымы сіздің жеке талаптарыңызға сай келеді, сондықтан біз сізге және сіздің арнайы қолданбаңызға дұрыс шешімді әзірлеуге дайын сарапшы инженерлер тобымызбен ақылы жабын немесе толық қызмет көрсете аламыз. .

Құрама жартылай өткізгіш кристалдар

VeTek Semiconductor әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы TaC жабындарын қамтамасыз ете алады. VeTek Semiconductor өнеркәсібінің жетекші жабын процесі арқылы TaC жабыны жоғары тазалық, жоғары температура тұрақтылығы және жоғары химиялық төзімділік ала алады, осылайша кристалдық TaC/GaN) және EPl қабаттарының өнім сапасын жақсартады және реактордың маңызды компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзартады.

Жылу изоляторлары

SiC, GaN және AlN кристалдарының өсу компоненттері, соның ішінде тигельдер, тұқым ұстағыштар, дефлекторлар және сүзгілер. Өнеркәсіптік жинақтар, соның ішінде резистивті қыздыру элементтері, саптамалар, экрандау сақиналары және дәнекерлеу құрылғылары, GaN және SiC эпитаксиалды CVD реакторының құрамдас бөліктері, соның ішінде пластиналар, спутниктік науалар, душ бастиектері, қақпақтар мен тұғырлар, MOCVD компоненттері.

Мақсаты:

Жарық диодты (жарық шығаратын диод) пластинаны тасымалдаушы

ALD (жартылай өткізгіш) қабылдағыш

EPI рецепторы (SiC эпитаксистік процесс)

TaC қапталған спутниктік қабылдағыш TaC жабынының қабылдағыш және сақинасы TaC жабын бөліктері TaC жабыны бар жарты ай бөліктері

SiC жабыны мен TaC жабындысын салыстыру:

	SiC	TaC
Негізгі мүмкіндіктер	Ультра жоғары тазалық, тамаша плазмалық төзімділік	Тамаша жоғары температура тұрақтылығы (жоғары температура процесінің сәйкестігі)
Тазалық	>99,9999%	>99,9999%
Тығыздық (г/см 3)	3.21	15
Қаттылық (кг/мм 2)	2900-3300	6.7-7.2
Меншікті кедергі [Ωсм]	0,1-15 000	<1
Жылу өткізгіштік (Вт/м-К)	200-360	22
Термиялық кеңею коэффициенті (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Қолдану	Жартылай өткізгішті жабдық Керамикалық айлабұйым (фокус сақинасы, душ бастиегі, вафли)	SiC Бір кристалды өсу, Epi, ультракүлгін жарықдиодты жабдық бөліктері

View as

Тантал карбиді сақинасы

Қытайдағы Tantal Carbide Ring өнімдерін озық өндіруші және өндіруші ретінде VeTek Semiconductor Tantal Carbide Ring өте жоғары қаттылыққа, тозуға төзімділікке, жоғары температураға төзімділікке және химиялық тұрақтылыққа ие және жартылай өткізгіштерді өндіру саласында кеңінен қолданылады. Әсіресе CVD, PVD, ионды имплантациялау процесінде, ою-өрнек процесінде және пластинаны өңдеу мен тасымалдауда бұл жартылай өткізгішті өңдеу және өндіру үшін таптырмас өнім болып табылады. Сіздің қосымша кеңесіңізді күтеміз.

Ары қарай оқу Сұрау жіберу

Тантал карбидінің қаптамасы

Қытайдағы кәсіби тантал карбиді жабындысын қолдау өнімінің өндірушісі және зауыты ретінде VeTek жартылай өткізгішті тантал карбиді жабыны қолдауы әдетте құрылымдық компоненттердің немесе жартылай өткізгіш жабдықтағы тірек компоненттерінің бетін жабу үшін, әсіресе жартылай өткізгіштерді өндіру процестеріндегі негізгі жабдық компоненттерінің бетін қорғау үшін қолданылады. CVD және PVD. Қосымша кеңес беруіңізге қош келдіңіз.

Ары қарай оқу Сұрау жіберу

Тантал карбиді бағыттаушы сақина

VeTek Semiconductor - Қытайдағы Tantalum Carbide Guide Ring өнімдерінің кәсіби өндірушісі және көшбасшысы. Біздің тантал карбиді (TaC) бағыттаушы сақинасы - бұл тантал карбидінен жасалған жоғары өнімді сақина құрамдас бөлігі, ол әдетте жартылай өткізгіштерді өңдеу жабдықтарында, әсіресе CVD, PVD, ою және диффузия сияқты жоғары температурада және жоғары коррозиялық орталарда қолданылады. VeTek Semiconductor компаниясы жартылай өткізгіштер өнеркәсібі үшін озық технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуға ұмтылады және сіздің қосымша сұрауларыңызды құптайды.

Ары қарай оқу Сұрау жіберу

TaC жабынының айналу сенсоры

Қытайдағы TaC Coating Rotation Susceptor өнімдерінің кәсіби өндірушісі, инноваторы және көшбасшысы ретінде. VeTek Semiconductor TaC жабынының айналу қабылдағышы әдетте материалдың біркелкі тұнбасын және тиімді реакциясын қамтамасыз ету үшін пластиналарды қолдау және айналдыру үшін химиялық бу тұндыру (CVD) және молекулалық сәулелік эпитаксис (MBE) жабдығына орнатылады. Ол жартылай өткізгіштерді өңдеудің негізгі компоненті болып табылады. Қосымша кеңес беруіңізге қош келдіңіз.

Ары қарай оқу Сұрау жіберу

CVD TaC жабатын тигель

VeTek Semiconductor - Қытайдағы CVD TaC Coating Crucible өнімдерінің кәсіби өндірушісі және көшбасшысы. CVD TaC жабыны тигель көміртегі тантал (TaC) жабынына негізделген. Тантал көміртекті жабыны оның ыстыққа төзімділігі мен коррозияға төзімділігін арттыру үшін химиялық бу тұндыру (CVD) процесі арқылы тигельдің бетіне біркелкі жабылады. Бұл жоғары температуралы экстремалды ортада арнайы қолданылатын материалдық құрал. Қосымша кеңес беруіңізге қош келдіңіз.

Ары қарай оқу Сұрау жіберу

CVD TaC қаптамасы вафельді тасымалдаушы

Қытайдағы CVD TaC қаптамасының вафли тасымалдаушысының кәсіпқой өндірушісі және зауыты ретінде VeTek Semiconductor CVD TaC қаптамасының вафли тасымалдаушысы - жартылай өткізгіш өндірісіндегі жоғары температура мен коррозиялық орта үшін арнайы әзірленген пластинаны тасымалдау құралы. және CVD TaC Coating Wafer Carrier жоғары механикалық беріктікке, тамаша коррозияға төзімділікке және термиялық тұрақтылыққа ие, бұл жоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруге қажетті кепілдік береді. Сіздің қосымша сұрауларыңыз қабылданады.

Ары қарай оқу Сұрау жіберу

<1 2 3 4 5...7 >

Қытайдағы кәсіби SiC эпитаксия процесі өндіруші және жеткізуші ретінде бізде өз зауытымыз бар. Аймағыңыздың нақты қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін теңшелген қызметтер қажет пе немесе Қытайда жасалған жетілдірілген және берік SiC эпитаксия процесі сатып алғыңыз келсе, бізге хабарлама қалдыра аласыз.