VeTek Semiconductor компаниясы ультра таза кремний карбиді жабыны өнімдерін өндіруге маманданған, бұл жабындар тазартылған графитке, керамикаға және отқа төзімді металл компоненттеріне жағуға арналған.
Біздің жоғары тазалық жабындары бірінші кезекте жартылай өткізгіштер мен электроника өнеркәсібінде пайдалануға арналған. Олар MOCVD және EPI сияқты процестерде кездесетін коррозиялық және реактивті орталардан қорғайтын пластинаны тасымалдаушылар, қабылдағыштар және қыздыру элементтері үшін қорғаныс қабаты ретінде қызмет етеді. Бұл процестер пластинаны өңдеу мен құрылғыларды өндірудің ажырамас бөлігі болып табылады. Сонымен қатар, біздің жабындар вакуумды пештерде және жоғары вакуумдық, реактивті және оттегі орталары кездесетін үлгіні қыздыру үшін өте қолайлы.
VeTek Semiconductor компаниясында біз машина цехының жетілдірілген мүмкіндіктерімен кешенді шешімді ұсынамыз. Бұл бізге графит, керамика немесе отқа төзімді металдарды пайдаланып негізгі компоненттерді өндіруге және SiC немесе TaC керамикалық жабындарын өзімізде қолдануға мүмкіндік береді. Біз сондай-ақ әр түрлі қажеттіліктерді қанағаттандыру үшін икемділікті қамтамасыз ете отырып, тұтынушы жеткізетін бөлшектерді жабу қызметтерін ұсынамыз.
Біздің кремний карбиді жабыны өнімдері Si эпитаксиясында, SiC эпитаксисінде, MOCVD жүйесінде, RTP/RTA процесінде, оюлау процесінде, ICP/PSS өңдеу процесінде, әртүрлі жарықдиодты түрлерінде, соның ішінде көк және жасыл жарықдиодты, ультракүлгін жарықдиодты және терең УК-да кеңінен қолданылады. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI және жабдықтарына бейімделген жарықдиодты т.б. т.б.
CVD SiC жабынының негізгі физикалық қасиеттері | |
Меншік | Типтік мән |
Кристалл құрылымы | FCC β фазалық поликристалды, негізінен (111) бағытталған |
SiC жабынының тығыздығы | 3,21 г/см³ |
SiC жабыныҚаттылық | 2500 Викерс қаттылығы (500 г жүктеме) |
Астық өлшемі | 2~10мкм |
Химиялық тазалық | 99,99995% |
Жылу сыйымдылығы | 640 Дж·кг-1· Қ-1 |
Сублимация температурасы | 2700℃ |
Иілу күші | 415 МПа RT 4-нүкте |
Жас модулі | 430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃ |
Жылу өткізгіштік | 300Вт·м-1· Қ-1 |
Термиялық кеңею (CTE) | 4,5×10-6К-1 |
Кремний карбидімен қапталған эпи сепкіш SiC қаптамасы бар вафельді тасымалдаушы MOCVD үшін SiC қапталған спутниктік қақпақ CVD SiC қаптамасы пластинкалы эпи-сусептор CVD SiC жабыны Жылыту элементі Aixtron спутниктік вафельді тасымалдаушы SiC Coating Epi қабылдағышы SiC жабыны жарты ай графит бөліктері
VeTek Semiconductor компаниясының SiC қапталған ICP сызу тасығышы эпитаксистік жабдықтың ең талап етілетін қолданбаларына арналған. Жоғары сапалы ультра таза графит материалынан жасалған, біздің SiC қапталған ICP Эттинг тасымалдауышымыз өңдеу кезінде қатал жағдайларға төтеп беретін өте тегіс беті және тамаша коррозияға төзімділігі бар. SiC жабыны бар тасымалдаушының жоғары жылу өткізгіштігі тамаша оюлау нәтижелері үшін жылуды біркелкі бөлуді қамтамасыз етеді. VeTek Semiconductor көптеген жартылай өткізгіш өндірушілермен ұзақ мерзімді ынтымақтастық қарым-қатынастарын орнатты. Сондай-ақ біз сізбен ұзақ мерзімді серіктестік құруды асыға күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor компаниясының жартылай өткізгішке арналған PSS сызу тасымалдаушы пластинасы - бұл пластинаны өңдеу процестеріне арналған жоғары сапалы, өте таза графит тасымалдаушы. Біздің тасымалдаушылар тамаша өнімділікке ие және қатал ортада, жоғары температурада және қатал химиялық тазалау жағдайында жақсы жұмыс істей алады. Біздің өнімдеріміз көптеген еуропалық және американдық нарықтарда кеңінен қолданылады және біз Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз. Сіз Қытайға біздің зауытқа келуге және біздің технологияларымыз бен өнімдеріміз туралы көбірек білуге қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor - Қытайдағы жартылай өткізгіштер өнеркәсібі үшін өнімділігі жоғары шешімдерді ұсынуға бағытталған жетекші жылдам термиялық күйдіргіш қабылдағыш өндірушісі және жеткізушісі. Бізде SiC жабындары саласында көп жылдық терең техникалық жинақ бар. Біздің жылдам термиялық күйдіргіш қабылдағыш пластинаның эпитаксиалды өндірісінің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін тамаша жоғары температураға төзімді және тамаша жылу өткізгіштікке ие. Технологияларымыз бен өнімдеріміз туралы көбірек білу үшін Қытайдағы фабрикамызға келуге қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуКремний негізіндегі GaN эпитаксиалды қабылдағыш GaN эпитаксиалды өндіруге қажетті негізгі компонент болып табылады. VeTek Semiconductor кәсіпқой өндіруші және жеткізуші ретінде жоғары сапалы кремний негізіндегі GaN эпитаксиалды қабылдағышты қамтамасыз етуге ұмтылады. Біздің кремний негізіндегі GaN эпитаксиалды қабылдағыш кремний негізіндегі GaN эпитаксиалды реактор жүйелеріне арналған және жоғары тазалықпен, тамаша жоғары температураға төзімділікпен және коррозияға төзімділікпен ерекшеленеді. VeTek Semiconductor компаниясы сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, сұрауға қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуVeTek Semiconductor Қытайдағы жетекші жартылай өткізгіш жабдық өндірушісі болып табылады, ол LPE реакторына арналған 8 дюймдік жарты ай бөлігін ҒЗТКЖ және өндіруге бағытталған. Біз көптеген жылдар бойы, әсіресе SiC жабын материалдарында бай тәжірибе жинақтадық және LPE эпитаксиалды реакторларына бейімделген тиімді шешімдерді ұсынуға дайынбыз. LPE реакторына арналған 8 дюймдік жарты ай бөлігі тамаша өнімділікке және үйлесімділікке ие және эпитаксиалды өндірісте таптырмас негізгі компонент болып табылады. Біздің өнімдер туралы көбірек білу үшін сұрауыңызды қош келдіңіз.
Ары қарай оқуСұрау жіберуLPE PE3061S 6 дюймдік пластинкаларға арналған SiC қапталған құймақ сорғышы 6 дюймдік вафлиді эпитаксиалды пластинаны өңдеуде қолданылатын негізгі компоненттердің бірі болып табылады. VeTek Semiconductor қазіргі уақытта Қытайдағы LPE PE3061S 6 дюймдік пластиналар үшін SiC қапталған құймақ сорғышының жетекші өндірушісі және жеткізушісі болып табылады. Ол қамтамасыз ететін SiC қапталған құймақ сорғышы жоғары коррозияға төзімділік, жақсы жылу өткізгіштік және жақсы біркелкілік сияқты тамаша сипаттамаларға ие. Сіздің сұрауыңызды күтеміз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу