VeTek Semiconductor компаниясының EPI сенсоры эпитаксиалды жабдықты қажет ететін қолданбаларға арналған. Оның жоғары таза кремний карбиді (SiC) қапталған графит құрылымы тамаша ыстыққа төзімділікті, эпитаксиалды қабаттың тұрақты қалыңдығы мен тұрақтылығы үшін біркелкі жылу біркелкілігін және ұзақ уақытқа созылатын химиялық төзімділікті ұсынады. Біз сізбен ынтымақтастықты асыға күтеміз.
VeTek Semiconductor - бұл Қытайдың EPI қабылдағышының, ALD планеталық қабылдағышының, TaC қапталған графит қабылдағышының өндірушісі.
VeTek Semiconductor EPI сенсоры жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде эпитаксиалды өсудің маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. Оның негізгі қызметі пластинаның бетінде жоғары сапалы эпитаксиалды қабат біркелкі өсетіндей етіп пластинаны қолдау және жылыту болып табылады.
VeTek Semiconductors EPI сенсорлары әдетте жоғары таза графиттен жасалған және кремний карбиді (SiC) қабатымен қапталған. Бұл дизайн келесі негізгі артықшылықтарға ие:
Жоғары температура тұрақтылығы: EPI сенсоры эпитаксиалды қабаттың біркелкі өсуін қамтамасыз ете отырып, жоғары температуралық ортада тұрақты болып қалуы мүмкін.
Коррозияға төзімділік: SiC жабыны тамаша коррозияға төзімді және химиялық газдардың эрозиясына қарсы тұра алады, бұл науаның қызмет ету мерзімін ұзартады.
Жылу өткізгіштік: SiC материалының жоғары жылу өткізгіштігі қыздыру кезінде пластинаның температурасының біркелкі таралуын қамтамасыз етеді, осылайша эпитаксиалды қабаттың сапасын жақсартады.
Термиялық кеңею коэффициентін сәйкестендіру: SiC термиялық кеңею коэффициенті графитке ұқсас, термиялық кеңею мен жиырылуына байланысты жабынның төгілу мәселесін болдырмайды.
Негізгі физикалық қасиеттеріEPI алушы:
CVD SiC жабындарын өндіру цехы:
Жартылай өткізгіш микросхемалардың эпитаксистік өнеркәсіп тізбегіне шолу: